精密机械和微纳机械专家。辽宁辽阳人。1960年毕业于吉林工业大学机械系。中国科学院长春光学精密机械研究所研究员，大连理工大学教授。长期从事超精密齿轮工艺与测试研究，建立了相关精度理论与“正弦消减法”等误差补偿方法。研制出最高精度等级的精密齿轮和渐开线样板，用于工程和计量基准。80年代开展亚微米级传动链精度及高平稳性工作台等研究，用于光盘母板刻录设备。1992年组建中国第一个微机械（MEMS）研究室，1999年组建MEMS研究中心，开展单元与系统设计、制作、测试及运动学、动力学研究。1995年当选为中国科学院院士。